LFIX-2000氣體混合儀
氣體傳輸：2-8種氣體 ， Swagelok卡套連接
氣體類型:30種
進氣壓力：0.1-0.4MPA
控制閥動作型式：常閉式
響應時間(sec)：1S
工作壓差：0.05～0.5MPA
最大耐壓：3MPA
控制原理：質量流量控制，每個出口單獨控制
流量：50SCCM，100SCCM，500SCCM可定做
采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制，并且不會受到溫度及壓力變化的影響
其他流速可選擇 ，其他氣體可選擇
準確性： 優于1%
數據：輸出的數據轉換為標準狀態下的質量（ 1個大氣壓，0度）
標準狀態規定為：
標準溫度………………0℃（273.15K）
標準壓強………………101325Pa
控制顯示方式：電腦操作
精確控制兩種不同氣體流量大小，使用其按不同比例（量）均勻混合，并精確控制混合氣體流量大小。
可通過電腦軟件控制及采集流量信號
