渦輪分子泵 HiPace® 1200-2300
HiPace 1200-2300
上海伯東 Pfeiffer HiPace 1200-2300, 抽速范圍 1200-2300 l/s 的全系列緊湊型復合軸承渦輪, HiPace 1200 - 2300 系列可以倒置安裝. 對小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
HiPace 1200-2300 l/s 產品優點
1. 抽速從 1200-2300 l/s 的全系列產品
2. 安裝角度可選 0°-90° 和 90°-180°
3. 有抗腐蝕性氣體型號可選(C型號)
4. 帶節流閥和閥門的集成凈化氣體系統
5. 電壓范圍 90 - 265 V
6. 獲得 SEMI S2, UL, CSA 和 TÜV認證
7. 防護等級 IP54 符合工業環境應用要求
8. 適用于各種嚴苛工藝如刻蝕，濺鍍，耐粉塵
9. 集成分子泵控制器 TC 1200，可直接連接一般電源
HiPace 1200-2300 l/s 技術參數：
|
型號 |
連接尺寸 DN |
抽速 l/s |
壓縮比 |
最高啟動壓強hPa |
極限壓力 |
全轉速氣體流量hPa l/s |
啟動時間 |
重量 |
|||
|
進氣口 |
排氣口 |
氮氣 |
氦氣He |
氫氣 H2 |
氮氣 |
氮氣N2 |
hPa |
氮氣N2 |
min |
kg |
|
|
|
200 |
40 |
1,250 |
1,300 |
1,100 |
> 1X108 |
2 |
< 1X10–7 |
20 |
2.5 |
27 – 40 |
|
|
250 |
40 |
1,400 |
1,350 |
1,150 |
> 1X108 |
2 |
< 1X10–7 |
20 |
2.5 |
29 – 41 |
|
|
200 |
40 |
1,450 |
1,650 |
1,700 |
> 1X108 |
1.8 |
< 1X10–7 |
20 |
4 |
33 – 34 |
|
|
250 |
40 |
1,900 |
2,000 |
1,850 |
> 1X108 |
1.8 |
< 1X10–7 |
20 |
4 |
34 – 47 |
C = 抗腐蝕性氣體
T = 溫控管理
HiPace 1200-2300 l/s 應用領域：
1. 分析儀器 2. 半導體 3. 鍍膜 4. 工業 5. 研發
上海伯東 Pfeiffer 抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 運行時間可以達到 100,000 小時! 提供復合軸承和五軸全磁浮二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 和共同使用.
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