HVA 高真空閘閥 高真空插板閥 11000 系列
因產品配置不同，價格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實際成交合同為準。
高真空插板閥 11000 系列
上海伯東美國 HVA 不銹鋼 真空插板閥 11000 系列, 手動,氣動可選, 滿足高真空和超高真空應用, 清潔和高密封性保證 HVA 與, 完美聯用.
HVA 不銹鋼高 真空插板閥 11000 系列產品特點
高真空和超高真空, 閥門主體和內部組件采用不繡鋼材質
閥門口徑 DN 16 - 800 mm, 手動或氣動驅動
不繡鋼焊接波紋管, 標準法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
最高溫度 250°C
堅固耐用, 達到設定的真空度時, 氣動閥門自動開閉, 有purge 接口
全部美國設計, 制造, 組裝, 原裝進口
HVA 高 超真空插板閥 11000 系列技術參數
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閥門材質: |
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- 閥門主體 |
304 不銹鋼 |
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- 焊接波紋管軸封 |
AM - 350 |
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閥門密封方式 |
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- 高真空 |
氟橡膠 |
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- 超高真空 |
銅墊圈 / 氟橡膠 |
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真空: |
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- 壓力范圍 |
高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
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- 漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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- 差壓關閉 |
1 bar ( 任意位置 ) |
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- 開啟前最大壓力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤溫度（不含電磁閥）: |
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- 佛橡膠密封 |
150 °c, 可選配置最大 250 °c |
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- 銅墊圈密封 |
閥門關閉 200 °c, 閥門打開 150 °c |
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- 驅動方式 |
手動 60 °c, 氣動 60 °c |
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- 氣體 |
80 psig (5.5 bar) |
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- 電磁 |
4.0 Watts |
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- 供電 |
120 VAC 50 /60 Hz |
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- 可選電壓 |
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
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- 位置指示器,最大 |
115 VAC |
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使用壽命: 100,000 啟閉次數 (具體視實際使用情況決定) |
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接口: DN 16 - 800 mm |
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美國 HVA 11000 系列高有正面鎖定的中心裝置或一個軟封的氣動閘（可選擇的) , 閥門保持關閉狀態以防空氣壓力損失, 11000 系列獨特的氣缸設計保證最低的沖擊和振動, 因此特別適合應用于半導體制造和其他要求低振動的敏感加工工業. HVA不銹鋼提供了業界最小的內部接口. 閥體和所有內部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr 的真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門的最大完整性,效消除了虛漏和缺陷部分, 閥體變形. 閥門手動, 三種驅動方式可選, 或定制法蘭滿足不同應用. 美國 HVA 11000 系列可任意位置安裝.
HVA 真空插板閥應用案例一
上海伯東客戶某大學自主搭建分子束外延與掃描隧道顯微鏡系統, 采用美國 11000 系列并搭配 Pfeiffer 和 成功分析生長晶體表面結構.
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HVA 真空插板閥應用案例二
美國 HVA 在半導體管道中的應用
半導體管道應用示意圖 現場圖
HVA 不銹鋼 11000 系列組成:
美國 HVA -美國最大制造商. 美國 HVA 原裝, 超過50年的高真空和超高設計與制造. 主營高, 廣泛應用于半導體, 鍍膜, 激光, 科研, 工業等領域. 上海伯東是美國 HVA 在中國地區唯一指定總代理商。
上海伯東主營產品：德國普發 Pfeiffer 渦輪分子泵，干式真空泵，羅茨真空泵，旋片真空泵；應用于各種真空環境下的真空計，氦質譜檢漏儀，質譜分析儀以及美國考夫曼公司 KRI 離子源 離子槍 霍爾源，美國 HVA 真空閥門，Polycold 冷凍機，離子刻蝕機，Europlasma等離子納米涂層設備等。
若您需要進一步的了解詳細信息,請聯絡上海伯東鄧女士，分機134
