面對當今激烈的商業挑戰,微電子制造商正不斷努力,力求提高企業盈利、產品質量、運行可靠性,及達到環保要求。納爾科在水處理和工藝處理方面的創新解決方案能有效幫助您達到以上目標。
超純水(UPW)生產
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- 降低耗水量
- 提高效率
- 風險最小化
- 降低總運行成本
鍋爐水
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- 定制解決方案以防止系統故障
- 提供解決原有設計問題的咨詢服務
收益
- 延長因水引起的設備平均故障間隔時間
BTA測量
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解決方案
- PermaCare® 反滲透處理
收益
- 優化超純水系統性能
- 防止膜損壞和超純水水質的下降
- 使回收最大化,降低耗水量和成本
水再利用/循環/再生
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解決方案
- 預處理設備(軟化裝置、反滲透裝置)
- 化學處理方案(NexGuard®)
收益
- 減少燃料用量,提高鍋爐效率
- 腐蝕最小化,防止結垢和其他沉積
- 提高蒸汽質量
洗滌塔
收益
- 達到EH&S標準
- 達到空氣質量標準
- 減少因結垢和/或生物污垢引起的停機
工藝冷卻水(PCW)
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解決方案
-為基于銅的微電子產品制造商提供高精度在線BTA測量
收益
- 優化BTA加藥和控制
- 防止加藥不足引起的銅線路腐蝕以及加藥過量引起的晶片表面污染
- 在無需變動主要工藝的情況下提高產量
化學機械研磨法
廢物管理/水回收(CMP WM/WR)
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解決方案
- 全面水務管理(IWM)
收益
- 提高水管理效率
- 降低總運行成本
- 通過水的最佳利用而減少風險
冷卻水/冷凍機
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解決方案
- 從廢水處理到全面操作和維護管理的一系列CMP相關服務
收益
- 以最低的風險回收大量用水
- 應對未來CMP工藝變化的專業知識
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解決方案
- 全系列阻垢/緩蝕劑和生物殺菌劑
- 控制和監測系統:用于冷卻系統應力管理的3D Trasar®;用于冷凍機效率監測的Chill-Factor
- 提供以最低的風險將工藝廢水回收用于冷卻塔補水的咨詢服務
收益
- 腐蝕最小化,并防止結垢和生物污垢
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成功案例
STA.BR.EX® 方案避免了維護停機時間
韓國某半導體工廠遇到粘泥積聚問題,粘泥污染了洗滌塔的填充介質。洗滌塔效率不斷降低,而耗水量則不斷上升。一年內為清洗填充介質及替換故障線路而造成的停機達74次。納爾科現場專家與工藝工程師共同開發出一種在線系統清洗方案,并采用ST40作為日常維護方案的一部分。
通過應用納爾科方案,工廠實現了:
- 年清洗成本節約54, 500 美元
- 年用水成本節約50, 000 美元
- 年產量增加4, 500,000 美元
RO TRASAR®每年可節約500, 000美元
納爾科與某主要微電子制造商合作進行的一項試驗顯示,RO TRASAR可提供不間斷及質量可靠的超純水供給。這些重要的成功因素還為客戶帶來了以下收益:
- 化學品和清洗成本的降低
- 膜使用壽命的延長
- 水質/水利用/節水的改善
- 全球每年節約可達500, 000 美元