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納爾科(中國)環保技術服務有限公司

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TRASAR® 技術為國內某半導體廠的工藝冷卻水系統提供完美的水質控制

             來源:納爾科(中國)環保技術服務有限公司 閱讀:4888 更新時間:2013-07-18 16:39

背景

某家處于市場領先地位的半導體芯片制造商在全球建立了制造工廠網絡。工藝冷卻水(PCW)系統是這些工廠關鍵的生產輔助系統,通過閉路循環為生產設備連續和穩定地提供冷卻水(見圖1)。半導體生產設備的溫度必須嚴格控制,PCW系統的任何輕微問題都有可能造成嚴重的生產損失。

過濾器使用壽命從3個月延長至1年

減少設備清洗和維護頻率

避免因水質問題可能造成的停機時間

每年減少過濾器更換成本58,968元

每年節省清洗和維護成本252,000元

每年增加工廠產值2,520,000元

案例研究 – 微電子業

該公司在中國擁有多家芯片組裝和測試工廠,其中一家工廠在PCW水質控制方面遇到了濁度高、含鐵高和高溫區嚴重結垢等問題。這些問題導致了多臺生產設備計劃外停機,造成了嚴重的生產損失。
因此,該客戶請求納爾科幫助其改進PCW的水質控制。

問題

因工廠產能擴大,冷卻水系統的負荷迅速增加,造成如下問題:

當新系統連接至PCW系統時,在擴充區域存在大量流速較低的死水區,造成水的濁度增大和含鐵量增加,從而導致堵塞過濾器、損壞管道和設備以及增加循環泵的能耗

在新的使用點連接至系統之前,沒有預先進行適當的沖洗,造成水的濁度增加,導致過濾器堵塞和過濾器更換頻率增加

冷卻水系統采用自來水作為補給水,這些高硬度(Ca2+, Mg2+)的補給水會導致高溫區域(200°C以上)嚴重結垢

水的損失導致化學藥劑的濃度不穩定

沒有嚴格控制水質,針對水質出現的異常反應遲緩。

解決方案

納爾科從機械、操作和化學處理(MOC)三個方面對客戶的冷卻水系統進行了全面的分析,推薦客戶采用如下解決方案:

將補給水水源從自來水改為反滲透水,以消除補給水中的鈣鎂離子,從而解決高溫應用區域的結垢問題

協助客戶完成新裝設備的沖洗程序

采用納爾科的3D TRASAR技術,根據需要自動控制和優化冷卻水的加藥量以防止腐蝕、結垢和微生物污染,持續保護冷卻水系統。應用于PCW系統的3D TRASAR技術可以提供如下功能:

實時監測pH值、電導率、濁度、溫度和化學藥劑濃度等水質參數

通過納爾科腐蝕性監測儀(NCSM)實時監測腐蝕速率

自動控制化學藥劑的加藥量

監測補水量/系統泄露

將PCW系統中的3D TRASAR控制系統連接到納爾科360服務系統,即可提供全天候實時監測和報警功能,向用戶提供系統參數和報告運行狀況

(點擊下載方案全文)


201307181639281525.zip 
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