氣體質量流量計
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人氣：2098 發布時間：2011-10-13 10:11 關鍵詞：流量計 產品型號：齊全 應用領域：水處理 產品價格：面議 想了解更多產品詳情，請 |
美國Aalborg代理 代理Aalborg氣體質量流量計 Aalborg控制器
寧波金晟杰機電有限公司供應美國Aalborg Aalborg氣體質量流量計 Aalborg控制器
是世界上著名的氣體質量流量計/控制器的生產廠家其產品廣泛用于微電子工藝 真空鍍膜 材料科學 石油化工 醫藥 環保等領域。
產品特點：性價比高 響應速度快 可靠性高 易于集成 環路保護 備總量計數器
典型應用：CVD PVD 刻蝕 等離子注入 濺射 ITO 玻璃鍍膜 表面處理等鍍膜工藝。
設計特點：
－剛性金屬結構
－流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
－最大壓力500psig（34.5Bar）
－泄漏率1＊10-7氦氣
－NIST系統標定可追蹤的證明
－可傾斜的LCD讀表
－0-5Vdc或4-20mA信號輸出
－電路保護
－可用作便攜式的設備
－0到100％比例顯示
－可配備流量計算機
精度：±1.5％滿量程 包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力。可選±1％滿量程（標定精度）在給定的溫度與壓力值條件下。
重復性：±0.5％滿量程
回應時間：實際流速±2％超過滿量程25-100％一般2秒
溫度系數：0.15％滿量程／℃
壓力系數：0.01％滿量程／psi（0.07bar）
氣體／周圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃）
輸出信號：0-5Vdc 最小1000Ω。4-20mA 0-250Ω回路電阻
傳感器輸出：＋12Vdc；最大200Ω。＋24Vdc可選
時間恒量：800ms
氣體壓力：最大1000psig（70bar）。可選20psig（1.4bar）
流體接觸面材質：A：GFC鋁系列為陽極電鍍鋁 316不銹鋼 銅和氟橡膠圓環
B：GFC17S 37S 47S 57S 67S 77S不銹鋼系列：316不銹鋼 氟橡膠圓環可選氯丁橡膠圓環。
方位靈敏度：水平到垂直旋轉低于15度；標準校準是在水平位置
連接：GFC17和37：1／4"卡套螺紋VCR®或1／8"卡套可選（GFC17）
GFC47：3／8"卡套螺紋
GFC57：3／8"卡套螺紋
GFC67：1／2"卡套螺紋
GFC77：3／4"卡套螺紋
VCR®或3／4"卡套可選（GFC77）美國Aalborg Aalborg氣體質量流量計 Aalborg控制器該產品種類齊全品質優良 如您有意購買 歡迎來電咨詢！
