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北京萬侯環境技術開發有限公司

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北京萬侯微電子超純水處理技術

             來源:北京萬侯環境技術開發有限公司 閱讀:2073 更新時間:2011-04-08 17:11

超純水處理

超純水系統分為預處理、反滲透系統、精脫鹽系統及產品水儲存輸送系統等部分。

設計原則

1.操作安全、運行穩定、易于管理

2.具備完善、可靠的自我保護功能

3.具備良好的故障恢復性能

4.具備最佳運行狀態重現性

系統階段質量標準(25°C)

1.一級反滲透產水電阻率 ρ>0.1MΩ.cm

2.二級反滲透產水電阻率 ρ>1.0MΩ.cm

3.EDI電脫鹽產水電阻率 ρ>15.0MΩ.cm

4.產品水電阻率 ρ>18.0MΩ.cm

系統階段性能

1.一級反滲透RO系統水利用率 ≥75%

2.二級反滲透RO系統水利用率 ≥85%

3.EDI電脫鹽系統水利用率 ≥90%

4.產品水電阻率 >18.0MΩ.cm

5.RO膜使用壽命不低于3年,三年后RO膜脫鹽率>95%

EDI膜塊使用壽命不低于3年

流程圖

主要設備索引

多介質過濾器

活性炭過濾器

精密過濾器

全自動軟水器

RO反滲透膜

混床

UF超濾

UV紫外線消毒器

水箱

純水和膜處理工藝

在純水處理、尤其是超純水處理工藝中,各種膜處理工藝被廣泛地使用。不同的過濾器能濾除對應的雜質。

每種膜處理設備都有各自的進水要求,所以,純水處理工藝都是用低級別的過濾設備作為高級別過濾器的前級。

經過RO反滲透的水,其中鹽分被過濾掉,才能測量出水的電阻率出現升高。對于超純水需要二級反滲透才能滿足要求。
 


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