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超精密半導體及TFT-LCD工廠用高精度測定/檢測設備用振動隔絕裝置
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對應載荷產生的壓縮變形和剪切變形的最適化形狀設計,使水平方向和豎直方向的剛度能很好的協調,是一款適用于超精密半導體和TFT-LCD生產工廠的主導產品。