電子與半導體元器件行業污染防治技術政策
1 總則
1.1 為有效防治電子與半導體元器件行業污染物對環境的污染，引導和規范本行業污染防治，推進國家電子與半導體元器件行業結構的優化調整，根據《中華人民共和國環境保護法》、《中華人民共和國水污染防治法》、《中華人民共和國大氣污染防治法》、《中華人民共和國固體廢物污染環境防治法》等法律、法規，以及《國務院關于落實科學發展觀 加強環境保護的決定》和《國務院關于把編制全國主體功能區劃的意見》等文件的精神，為加強對電子與半導體元器件行業廢水廢氣固廢排放的控制，特制定本技術政策。
本技術政策將隨社會經濟、技術水平的發展適時修訂。
1.2 本技術政策以國家有關法律法規和國家排放標準體系為指導，結合該行業的發展規劃，根據行業的污染現狀、清潔生產水平而制定，對電子和半導體元器件行業生產全過程的實施污染防治、環境監督與管理，適應“十二五”發展目標的需要。
2 目標與原則
2.1對電子與半導體元器件行業要求采用新技術新工藝，減少能源消耗，實行污染物最小量化的清潔生產，完善綜合治理設施，從而保護環境且節省廢水、廢氣和固體廢物處理的投資及運行費用。
2.2采用先進、成熟的水污染防治技術，水污染物排放達到行業排放標準要求，并滿足污染物排放總量控制要求。
2.3加強大氣污染防治，確保大氣污染物達標排放，減少廢氣無組織排放。
2.4廢水、廢氣及固體廢物的處理處置應考慮生物安全性因素。
2.5新建電子與半導體元器件行業合理選址，鼓勵在工業園區內建設。廢水中有毒有害污染物應在車間排放口之前處理，達到國家或地方排放標準的規定，并滿足園區公共污水處理系統進水要求后，進入園區污水處理廠。
3 清潔生產技術和工藝
3.1鼓勵在生產中重復使用投入的原料以及降低水消耗量。
3.2鼓勵設備與技術更新、工藝與流程更新、產品的重組與設計更新、原材料的替代以及促進生產的科學管理、維護、培訓或倉儲控制。
3.3鼓勵在生產過程中采用自動控制系統和生產監控系統。
3.4鼓勵采用膜分離、萃取、吸附，以及多效蒸發、熱泵等技術回收廢水中的重金屬類物質和降低能耗。
3.5鼓勵回收和再利用廢氣和固體廢物中有用物質。
3.6減少有毒有害危險化學品的使用，或以低毒、低害化學品代替高毒、高害化學品。
3.7應加強制水設備排水、循環水排水、蒸汽凝水的回收利用。
4 末端治理技術
電子與半導體元器件行業污染物末端治理整體上應按照污染物的類型進行分類收集，鼓勵末端治理工程專業化運營，交由專業化運營單位進行運營管理，確保污染物治理的效果。
4.1水污染防治技術
4.1.1酸堿廢水
酸堿廢水在排放水體或進行生物處理或化學處理之前，必須進行中和，使廢水PH值達到6.5-8.5的排放標準。對于酸堿物質濃度高達3%-5%的廢水，應首先考慮其回收回用。酸堿廢水應采用酸堿廢水相互中和、投藥中和或過濾中和方法；堿性廢水還應考慮煙道氣中和方法。中和時，要綜合考慮有用組分的回收，降低重金屬、氟、COD等有害成分的降低。
4.1.2含氟廢水
含氟廢水應采用鈣鹽沉淀法，鼓勵采用可溶性鈣鹽或鈣鹽與鎂鹽、鋁鹽或鹽酸鹽聯合使用處理含氟廢水。
4.1.3含金屬（包括銅）廢水
金屬廢水的處理宜采用化學沉淀法，鼓勵采用膜分離、萃取、吸附、置換法對廢水中的重金屬進行回收利用以及廢液的回用。
4.1.4有機廢水
有機廢水應采用生物法處理。生物法包括好氧生物處理和厭氧生物處理兩大類。好氧生物處理可選擇生物接觸氧化法、序批式間歇活性污泥法(SBR)及其變形工藝、流動床生物膜法（MBBR）等。厭氧生物處理可選擇升流式厭氧污泥床(UASB)反應器、厭氧復合床(UBF)反應器、厭氧膨脹顆粒污泥床（EGSB）反應器、厭氧折流板反應器（ABR）等。高濃度有機廢水可選擇焚燒法，焚燒法要考慮到大氣污染，優先送專業焚燒廠焚燒。
4.1.5含氨廢水
含氨廢水的處理方法宜采用次氯酸鈉氧化法、吹脫法、蒸氨法、硝化反硝化法等。采用吹脫法、蒸氨法，要考慮到氨的吸收回用，防止氨對大氣的污染。
4.1.6氰化物廢水
氰化物廢水宜先分別收集，然后堿化，再加以氧化處理。氧化處理方法包括：氯氧化法、次氯酸根氧化法、臭氧氧化法、曝氣法、電解氧化法法。
4.2大氣污染防治技術
4.2.1酸/堿性廢氣處理
酸/堿性廢氣的處理應采用濕式洗滌塔技術。對于酸性廢氣使用5-10%的氫氧化鈉或水或石灰乳、石灰石作為吸附劑，通過吸收劑與廢水接觸發生物理（溶解）或（化學（中和）反應，取出廢氣中的酸性物質。對于堿性物質通常用以硫酸或水作為吸收劑。酸/堿性廢氣的處理應當與廢水處理綜合考慮，優先用廢水做吸收劑。
4.2.2 VOCs處理
VOCs的控制技術可以采用催化燃燒法、吸收法、吸附法：鼓勵采用生物凈化技術、低溫等離子凈化技術和光催化氧化技術處理VOCs。
4.2.3有毒有害廢氣處理
有毒有害廢氣的處理應進行“源頭處理”（POU），即在使用這種氣體的設備處進行處理，處理方法可以采用燃燒法、裂解法、化學吸附法。
4.3 固體廢物處置和綜合利用
4.3.1高濃度釜殘液應作為危險廢物處置，不宜進入廢水中。
4.3.2廢棄的電子和半導體元器件、廢試劑原料等應集中回收后處置，鼓勵對其中的銅等金屬及其它有用物質進行回收利用。集中回收處置的技術方法以及工程設計要經過環保部門以及原件行業的評審，建成后經過驗收才可投入使用。
4.3.3處理過程中產生的廢活性炭應優先回收再生利用，或作為危險廢物處置。危險廢物應遵照《中華人民共和國固體廢物污染環境防治法》進行登記，交地方危險廢物處理機構處理。
4.3.4 廢水處理過程產生的含銅等重金屬的污泥應作為危險廢處理進行處理，鼓勵對含重金屬污泥進行資源回收利用。
5 二次污染防治
5.1 廢水厭氧生化處理過程中產生的沼氣，宜回收并脫硫后綜合利用，禁止直接放散。
5.2 廢水處理過程中產生的剩余污泥，應按照《國家危險廢物名錄》進行識別，識別為危險廢物的應交專業有毒有害廢物處理（管理）部門處理；識別為非危險廢物的可用于生產有機肥料或衛生填埋，也可作為污水生物處理反應器的啟動污泥外售。
5.3廢氣處理過程中產生的廢液或
廢固應進行相應的妥善處理，禁止直接放散。有機溶劑廢氣處理過程中產生的吸附過濾物及載體，如廢活性炭等，應作為危險廢物處置。
5.4 廢物資源回收后的殘余物料應妥善處置，不得對環境造成二次污染。
6 鼓勵研究、開發的技術
6.1 鼓勵運用膜分離等技術對廢水中重金屬類污染物進行回收。
6.2 鼓勵開發、應用生物凈化、低溫等離子凈化和光催化氧化等技術處理VOCs。
6.3 鼓勵研制開發投資小、能耗低、運行費用少、處理效率高的廢水處理技術。
6.4 鼓勵應用活性炭吸附回收廢有機溶劑。
7 運行管理
7.1 環境管理制度
7.1.1電子和半導體元器件企業應制定環保管理規章制度，確定各種污染物排放控制指標及污染防治設施運轉控制指標，并定期統計、考核。
7.1.2建立環境檔案，包括環境影響評價，污染防治設施竣工驗收，污染源調查與監測，污染防治設施設計、技術改進及運行，環境監測等資料。
7.1.3制定日常監測計劃，進行日常監測，并將監測結果上報環境保護管理部門；設置主要污染物連續或自動監測裝置，實現與環境保護行政主管部門聯網。
7.2 日常運行維護
7.2.1做好污染防治設施的檢修維護、環境監測儀器設備的維護保養，確保監測工作正常進行。
7.2.2危險廢物的產生、收集、運輸、分類、檢測、綜合利用、貯存和處理處置等全過程污染防治需按照《危險廢物污染防治技術政策》相關要求執行。
7.3 人員培訓
加強環境保護教育和宣傳，提高員工的環境保護意識；加強技術培訓，提高環保工作人員的業務素質。
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