上海廢棄硫酸實行“點對點”資源化利用
上海被賦予打造集成電路產業高地的重大任務，隨著產業規模逐步擴大，廢酸環境無害化處置成為突出問題。據了解，上海通過 “點對點”資源化定向再利用創新模式已破解這一難題。
日前，一輛掛有危險標識的罐裝運輸車穩穩駛入廠區，公司專職管理員引導車輛，過磅、取樣、檢驗、聯單簽收……一系列流程后，車被引導至專用卸車區，車上的特殊液體被接收到公司的原料儲料罐中，等待用于后續的生產。
這是記者在位于金山第二工業區內的上海澎博鈦白粉有限公司（以下簡稱澎博公司）看到的場景。罐裝車內裝運的是液體硫酸，它的特殊性在于是上游集成電路芯片生產企業使用過的廢棄硫酸。
在現場，公司負責人何文龍告訴記者，公司是上海市集成電路芯片行業產生的廢硫酸資源化利用定點單位，每天安排專用車輛將廢酸運回工廠，經過嚴格的檢驗流程后再投入到鈦白粉生產當中，今年1月-7月已處置利用廢酸1.5萬噸。
新模式解決行業發展難題
據上海市生態環境局相關負責人介紹，上海首創的廢硫酸“點對點”資源化定向再利用模式運用逐步成熟，目前已經全部覆蓋了上海具備回收廢酸條件的集成電路芯片制造企業，總體上穩定地解決了上海集成電路芯片制造企業廢硫酸處置問題。
據上海市集成電路行業協會相關負責人介紹，集成電路產業生產過程中會使用大量濃硫酸，排放以硫酸物質為主，處理廢硫酸成本很高，同時會存在一定的生態環境安全風險。這個問題成為阻礙行業發展的難題。
直面痛點。在上海市經濟和信息化委、上海市生態環境局等相關部門的支持下，上海市固體廢物和化學品管理技術中心、上海市集成電路行業協會積極探索，多次召開專家研討會論證處置方案，并于2016年開始由中芯國際和澎博公司開展廢硫酸“點對點”資源化定向再利用試點運行，經過多輪試點驗證，最終形成較為成熟的經驗。
去年，上海市集成電路行業協會會同多部門專門編寫形成了《鈦白粉用集成電路制造行業廢硫酸》（T/SICA001-2020）團體標準，在上海市質量技術監督部門網站和國家標準網上進行公示，全力保障廢酸源頭質量的把控。
多維度再利用效益明顯
廢硫酸“點對點”資源化定向再利用，這一新模式的環境效益、經濟效益和社會效益都很顯著。相關專家告訴記者，模式的核心是實現集成電路制造過程中產生的廢硫酸替代鈦白粉生產工藝過程中用到的工業硫酸。經過試點驗證，這種模式技術可行性很強，廢酸再利用單位在使用廢硫酸生產鈦白粉時，不需要調整現有工藝。同時，替用過程不增加額外的環境負擔與風險，不影響產品的質量，符合“固體廢物減量化、資源化和無害化”原則。
談到經濟效益，這位專家給記者算了一筆賬：澎博公司再利用廢硫酸每噸收費500元，按照上海市往年廢硫酸處置費每噸2000元計算，今年1月至7月，澎博公司累計利用廢硫酸1.5萬噸，集成電路生產企業可節約2250萬元。同時，澎博公司也節省了購置工業濃硫酸的費用，產廢企業和再利用企業達到了“雙贏”。
此外，新模式還符合循環經濟產業需求，不僅解決了廢硫酸處置出路難、處置費用高的難題，降低了企業生產成本和廢硫酸處理費用，還促進了鈦白粉生產單位的升級改造、精準轉型和綠色發展，為日后集成電路產業的蓬勃發展鋪平了道路。
深入推進“點對點”資源化再利用
“在探索推行這一新模式的過程中，我們以守好環境底線為前提，做到嚴格把關，按程序推進。”上海市生態環境局相關負責人介紹，在前期提出設想并加以論證的基礎上，他們于2016年發文，同意將中芯國際和澎博公司設立為上海市首個廢硫酸定向再利用試點單位，利用芯片廢硫酸生產鈦白粉。
2019年11月，上海市生態環境局同意4家企業廢硫酸定向資源化再利用備案。2020年10月，上海市生態環境局擴大廢硫酸定向資源化再利用備案，新增4家企業，全面覆蓋上海市具備回收廢酸條件的集成電路制造企業。
據介紹，目前，各方進展順利，各試點企業在嚴格執行危險廢物各項管理制度下，廢硫酸源頭品質得到保障，并委托具有相關運輸資質的單位專人專車進行運輸。澎博公司在廢酸使用期間，生產運行穩定，各項污染物排放環保指標檢測均符合排放標準。同時，澎博公司對生產設備工藝進行優化改造，在末端形成了可滿足近期集成電路產業發展需求的每年6萬噸廢硫酸利用能力。
“十四五”期間，上海的集成電路產量將快速增長，需處置的廢硫酸量也將隨之增加。據最新統計，2020年產生廢酸1.25萬噸，2021年預計為2.8萬噸，到2022年上海芯片企業產生的廢硫酸將高達6萬噸，2025年將達到10萬噸以上。
面對這一形勢，上海各相關部門召開會議制定了“提前謀劃改造，形成需求匹配、長久穩定”的廢硫酸利用原則。上海市發改委、上海市經濟和信息化委還專門組織專家隊伍到資源化綜合利用企業澎博公司開展現場調研，了解情況，聽取企業和行業專家的意見和建議。
作為廢酸再利用定點企業，澎博公司也啟動了匹配廢酸資源化利用技改規劃，積極響應上級部門對澎博公司以廢定產、提前謀劃的要求，規劃“集成電路行業10萬噸廢酸資源化利用”技改。
在上海市人民政府近日印發的《上海市2021-2023年生態環境保護和建設三年行動》文件上，記者也注意到相關條文：在環境可控的前提下，持續推動集成電路行業廢酸等危險廢物“點對點”定向資源化利用工作，形成穩定的與集成電路行業未來發展相適應的廢酸處置利用能力。
據悉，未來，這種廢棄硫酸“點對點”資源化定向再利用模式，將有力保障我國集成電路行業的發展，也將對其他行業的危險廢物綜合利用起到借鑒和引領作用。
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